涂層測厚儀測量結果不準確主要是由下面幾種原因引起：
1、強磁場的干擾。當儀器在強電磁場附近工作時，測量會受到嚴重的干擾。如果離電磁場非常近時還有可能會發生死機現象。
2、人為因素。在使用儀器測量過程中如果用戶對測厚儀不熟悉就可能使探頭偏離被測機體，使磁通量發生變化造成錯誤測量。所以初次使用本儀器時，要掌握好測量方法。探頭的放置方式對測量有很大影響，在測量中應使探頭與試樣表面保持垂直。并且探頭的放置時間不宜過長，以免造成基體本身磁場的干擾。
3、在系統矯正時沒有選擇合適的基體。基體zui小平面為7mm，zui小厚度為0.2mm，低于此臨界條件測量是不可靠的。
4、附著物質的影響。涂層測厚儀對妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質敏感，因此必須清除附著物質，以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。在進行系統矯正時，選擇的基體的表面也必須是裸露的、光滑的。
5、儀器發生故障。技術人員修理或返廠維修。
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